1、機臺采用進口勞士領板材,長期可工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏 。2、全自動設計硅片化學法鍍鎳鍍金清洗設備,鍍鎳中可提動動作。3、鎳水槽采用五面石英加熱缸,可底部排放設計,溫控精度±1°C。4、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI,所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經PFA防腐隔絕處理;5、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側。6、設備設計標準按半導體行業標準(SEMI-S2-93)執行,ISO9001質量管理體系進行規范和保證。
全自動晶圓腐蝕機
全自動單片清洗機
全自動SIO2清洗機
全自動RCA清洗機
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